发明名称 METHOD AND HOLDER FOR WASHING WAFER
摘要
申请公布号 JPH0415920(A) 申请公布日期 1992.01.21
申请号 JP19900120752 申请日期 1990.05.09
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NOGUCHI TOSHIHIKO
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
地址
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