发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH0416588(A) 申请公布日期 1992.01.21
申请号 JP19900119892 申请日期 1990.05.11
申请人 ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD 发明人 OTA YOSHIO;NAKAGAWA YUKIYA;MURAKAMI KAZUO;TAKAZAWA SHOJI
分类号 C30B15/02;C30B29/06;C30B30/04;H01L21/208 主分类号 C30B15/02
代理机构 代理人
主权项
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