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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE OF SAME
摘要
申请公布号 JPH0415923(A) 申请公布日期 1992.01.21
申请号 JP19900117744 申请日期 1990.05.09
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TERADA TOSHIYUKI;TOMITA KENICHI;INOUE TOMOTOSHI
分类号 H01L21/3213;H01L21/3205 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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