发明名称 SCANNING ELECTRON MICROSCOPE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0414745(A) 申请公布日期 1992.01.20
申请号 JP19900116196 申请日期 1990.05.02
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KISHIDA TAKENOBU
分类号 H01J37/20;H01J37/244;H01J37/28 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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