发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0414821(A) 申请公布日期 1992.01.20
申请号 JP19900118381 申请日期 1990.05.08
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OHIRA SHINYA
分类号 H01L21/768;H01L21/285 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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