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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0414826(A) 申请公布日期 1992.01.20
申请号 JP19900117489 申请日期 1990.05.09
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 MURAKAWA EMI
分类号 H01L21/205;H01L21/31;H01L21/66 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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