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经营范围
发明名称
ION IMPLANTATION APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH0414817(A)
申请公布日期
1992.01.20
申请号
JP19900117568
申请日期
1990.05.09
申请人
KAWASAKI STEEL CORP
发明人
KANEKO YOSHIO;MORII HIROYUKI
分类号
H01L21/265
主分类号
H01L21/265
代理机构
代理人
主权项
地址
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