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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH0414218(A) 申请公布日期 1992.01.20
申请号 JP19900117189 申请日期 1990.05.07
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 ABE KOJI
分类号 H01L21/22;H01L21/225 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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