| 发明名称 |
DETECTING METHOD FOR DISTORTION OF SUBSTRATE HOLDER PLATE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0415511(A) |
申请公布日期 |
1992.01.20 |
| 申请号 |
JP19900119573 |
申请日期 |
1990.05.09 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
ONO SHINICHI;HIRANO HIROYUKI;OKUTSU SEIICHI;SUDO SATORU |
| 分类号 |
G01B21/20;B65H7/06;C23C14/50;C23C14/54 |
主分类号 |
G01B21/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
