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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0414820(A) 申请公布日期 1992.01.20
申请号 JP19900119391 申请日期 1990.05.08
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TSUTSUMI TOSHIAKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/768;H01L21/82 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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