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发明名称
MEASURING DEVICE OF DISTRIBUTION OF THICKNESS OF OXIDE FILM
摘要
申请公布号
JPH0413910(A)
申请公布日期
1992.01.17
申请号
JP19900117377
申请日期
1990.05.07
申请人
NIPPON STEEL CORP
发明人
HIRANO SHINYA;TANAKA KEIHACHIRO;TANAKA TOMIO
分类号
G01B11/06
主分类号
G01B11/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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