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经营范围
发明名称
SPATTERING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH0413868(A)
申请公布日期
1992.01.17
申请号
JP19900115237
申请日期
1990.05.02
申请人
ANELVA CORP
发明人
AKIMOTO TAKASHI
分类号
C23C14/34;H01L21/203
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
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