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发明名称 PLANE VACUUM PANEL AND PLANE VACUUM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0412429(A) 申请公布日期 1992.01.17
申请号 JP19900114657 申请日期 1990.04.27
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 KOMATSU HIROSHI
分类号 H01J29/86;H01J5/02;H01J9/26;H01J31/12;H01J31/15 主分类号 H01J29/86
代理机构 代理人
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