发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH0412574(A) 申请公布日期 1992.01.17
申请号 JP19900116182 申请日期 1990.05.02
申请人 TERUMO CORP 发明人 OKODA TAKASHI;SUZUKI TAKANAO;SUMINO HITOMI
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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