发明名称 ELECTRON BEAM DEVICE AND VOLTAGE MEASURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0412445(A) 申请公布日期 1992.01.17
申请号 JP19900112924 申请日期 1990.04.27
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKAZAWA KAZUHIRO;ITO AKIO
分类号 G01R19/00;H01J37/244 主分类号 G01R19/00
代理机构 代理人
主权项
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