| 发明名称 |
HEATING DEVICE UTILIZING HOLLOW CATHODE DISCHARGE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0413865(A) |
申请公布日期 |
1992.01.17 |
| 申请号 |
JP19900115096 |
申请日期 |
1990.05.02 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
SAITO KAZUYA;KOJIMA HITOSHI;WATANABE KAZUHIRO |
| 分类号 |
C23C14/24;C23C14/32;H01J37/30 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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