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发明名称 DRY ETCHING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH0413878(A) 申请公布日期 1992.01.17
申请号 JP19900112322 申请日期 1990.04.28
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSUU TOUHOKU EREKUTORONIKUSU:KK 发明人 INOSE TAKAO;OTA RYUSUKE
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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