发明名称 A SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 EP0427179(A3) 申请公布日期 1992.01.15
申请号 EP19900121150 申请日期 1990.11.05
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORPORATION 发明人 TSUDA, NAOYUKI;YAMAGUCHI, TSUNEO;KANEKO, TADATAKA
分类号 G01L9/00;(IPC1-7):G01L9/00;H01L27/01 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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