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发明名称 AQUEOUS DEVELOPER AND PROCESS FOR DEVELOPING PHOTORESISTS
摘要
申请公布号 EP0432622(A3) 申请公布日期 1992.01.15
申请号 EP19900123289 申请日期 1990.12.05
申请人 BASF AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 BINDER, HORST;SCHWALM, REINHOLD, DR.
分类号 G03F7/32;(IPC1-7):G03F7/32 主分类号 G03F7/32
代理机构 代理人
主权项
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