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发明名称
IN-LINE MASK CLEANING SYSTEM
摘要
申请公布号
EP0111708(B1)
申请公布日期
1992.01.15
申请号
EP19830110964
申请日期
1983.11.03
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
MAGEE, ROBERT ARTHUR;REMSEN, LAWRENCE PETER
分类号
B08B3/02;B41F35/00;B41N3/06;H05K3/12
主分类号
B08B3/02
代理机构
代理人
主权项
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