运动姿态测量方法及其装置

摘要

一种运动姿态测量方法及其装置，属于激光多普勒测量技术。本发明采用准共光路，四光束双焦点的光路系统，光电接收器接收两个光点的散射光并对两组信号的频率及相位进行检测。利用该方法设计出运动姿态测量仪可对被测物X方向和Z方向测出大于0.05μm的线位移和2.5″角位移，测出从0.2米/sec到0.1μm/sec的线速度和10⁷角秒/秒～5角秒/秒的角速度，可用于对机械系统的微小振动分析，腐蚀蠕变，焊缝热变形分析等广阔领域。

主权项

1、一种运动姿态测量方法，采用激光多普勒测量技术，即将激光束聚焦后射到被测物点上，该被测物点反射及散射回来的光由光电接收器接收并转换成电信号输出，检测电路对该电信号的频率及相位进行检测，分析，得到被测点的运动姿态，其特征在于采用准共路四光束双焦点的光路系统，即用分光元件将所说的激光光束分成四束具有两种不同偏振方向的偏振光，用频率调制器使其中两束具有不同偏振方向的偏振光与另外两束偏振光产生一定量的频差，再用聚光元件使所说的两束以上的光束形成相距不远的两个光点，所说的被测物放置在所说的两个光点处，所说的光电接收器接收两个焦点处的被测物点的反射光及散射光并转换成电信号输出，所说的检测电路对所说的两组电信号的频率及相位进行检测。