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发明名称 OPTICAL ANNEALING METHOD FOR SEMICONDUCTOR LAYER AND METHOD FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE EMPLOYING THE SAME SEMICONDUCTOR LAYER
摘要
申请公布号 EP0449524(A3) 申请公布日期 1992.01.15
申请号 EP19910302509 申请日期 1991.03.22
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 YONEHARA, TAKEO
分类号 H01L21/20;H01L21/268;H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/20;H01L21/28 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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