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发明名称 DEVICE FOR EXCITING HF GASEOUS DISCHARGE
摘要
申请公布号 SU1705912(A1) 申请公布日期 1992.01.15
申请号 SU19894694391 申请日期 1989.05.23
申请人 NOVOSIBIRSKY ELEKTROTECH INST 发明人 PIVCHIK GENNADIJ R,SU;YAKUSHEVA NATALYA V,SU;KHRUSTALEV VLADIMIR A,SU;GELLER VLADIMIR M,SU
分类号 H01J11/00;H01J11/04;H01J23/18;H01J65/00 主分类号 H01J11/00
代理机构 代理人
主权项
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