| 摘要 |
本发明的处理装置(100)是包含：载置台(10)，其系载置被处理体(18)；表面处理治具(20)，其系以处理液来处理被处理体(18)的被处理面(18a)；供给手段(30)，其系对表面处理治具(20)供给处理液；回收手段(40)，其系回收供给至表面处理治具的处理液；及离间维持手段(50)，其系将表面处理治具(20)维持成与被处理面(18a)离间的状态。又，表面处理治具(20)，系具备：具有对向于被处理面(18a)的对向面(22a)，在该对向面(22a)与该被处理面(18a)之间保持从供给手段(30)所供给的处理液，而来处理被处理面(18a)之处理部。藉此，提供一种可一面抑止对被处理面以外的面之处理液的飞散，一面对被处理面实施利用处理液的处理之处理装置及表面处理治具。 |
