流体喷射装置

摘要

本发明揭示了一种在进行平板显示面板用基板之制造制程中的蚀刻（etching）或剥离（strip）作业时，可向基板均匀供给蚀刻用流体或剥离用流体的流体喷射装置。这种流体喷射装置包括：具有作业空间的作业槽；用于喷射流体的喷嘴；相隔配置在该作业空间的多个喷射管；与该喷射管相连接且藉由连杆运动而使该喷嘴的喷射角度发生变化的动力传递机构；以及为使该动力传递机构进行连杆运动而产生动力的驱动源。