发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0410419(A) 申请公布日期 1992.01.14
申请号 JP19900113887 申请日期 1990.04.26
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 NOBORIKAWA ICHIRO
分类号 H01L21/76;H01L21/316 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
地址