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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0410544(A) 申请公布日期 1992.01.14
申请号 JP19900110040 申请日期 1990.04.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 ANDO TOSHIO;ISOMAE SEIICHI;SUGINO YUSHI;TAMURA MASAO
分类号 H01L21/205;H01L21/322 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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