发明名称 SPUTTERED FILM FORMING DEVICE FOR BALL
摘要
申请公布号 JPH049468(A) 申请公布日期 1992.01.14
申请号 JP19900113782 申请日期 1990.04.26
申请人 YASKAWA ELECTRIC CORP 发明人 YAMAZUMI SHUJI;IMAI TERUAKI;ITABE TADAKI
分类号 C23C14/34;C23C14/50 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
地址