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发明名称
COMBINED SCANNING ELECTRON AND SCANNING TUNNELLING MICROSCOPE APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号
US5081353(A)
申请公布日期
1992.01.14
申请号
US19910653245
申请日期
1991.02.11
申请人
HITACHI, LTD.
发明人
YAMADA, OSAMU;NAKAIZUMI, YASUSHI;HAZAKI, EIICHI
分类号
G01B7/34;G01N37/00;G01Q30/02;G01Q60/10;H01J37/28
主分类号
G01B7/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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