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发明名称 SURFACE TREATMENT OF COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH0410417(A) 申请公布日期 1992.01.14
申请号 JP19900111459 申请日期 1990.04.26
申请人 NEC CORP 发明人 BABA TOSHIO
分类号 H01L21/308 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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