| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR CLEANING, COATING AND CURING RECEPTOR SUBSTRATES IN AN ENCLOSED PLANETARY ARRAY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5079854(A) |
申请公布日期 |
1992.01.14 |
| 申请号 |
US19890457958 |
申请日期 |
1989.12.27 |
| 申请人 |
XEROX CORPORATION |
发明人 |
HAMMOND, JOHN M.;NOLLEY, ROBERT W. |
| 分类号 |
G03G5/05;B05B3/10;B05B13/00;B05B13/02;B05C9/14;B05C13/00;F26B15/00;G03G5/00;H01L21/00 |
主分类号 |
G03G5/05 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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