发明名称 SEMICONDUCTOR ELEMENT SPATIAL WIRING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0410556(A) 申请公布日期 1992.01.14
申请号 JP19900110008 申请日期 1990.04.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 KANEKO TADAO;MORI MITSUHIRO;KURODA TAKARO
分类号 H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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