发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0410431(A) 申请公布日期 1992.01.14
申请号 JP19900271236 申请日期 1990.10.09
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 HORASAWA TAKAYASU;TADA HAJIME
分类号 H01L21/60;H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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