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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0410434(A) 申请公布日期 1992.01.14
申请号 JP19900111133 申请日期 1990.04.26
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 KATO YUICHI
分类号 H01L21/336;H01L21/265;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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