单晶衬底及其切割方法

摘要

公开一种单晶衬底及其切割方法。单晶衬底包括具有SAW传播表面的钽酸锂衬底；和在所述表面上具有用来发射和/或检测表面声波的电极的输入和输出IDT，其中表面波的传播方向平行于X’轴，并且该衬底还具有垂直于所述表面的Z’轴和平行于该表面且垂直于X’轴的Y’轴，钽酸锂衬底具有由修正轴X、Y和Z所限定的晶体取向，轴X’、Y’和Z’的相对取向由欧拉角φ、θ和ψ限定，其中φ的范围为－5°≤φ≤+5°，θ的范围为70°≤θ≤90°，ψ的范围为85°≤ψ≤95°，或其中φ的范围为－5°≤φ≤+5°，θ的范围为20°≤θ≤40°，ψ的范围为5°≤ψ≤25°，或其中φ＝0°，θ＝168°和ψ＝90°。

主权项

1.一种单晶衬底，包括：具有SAW传播表面的钽酸锂衬底；和在所述表面上具有用来发射和/或检测表面声波的电极的输入和输出IDT，其中表面波的传播方向平行于X’轴，并且该衬底还具有垂直于所述表面的Z’轴和平行于该表面且垂直于X’轴的Y’轴，所述的钽酸锂衬底具有由修正轴X、Y和Z所限定的晶体取向，轴X’、Y’和Z’的相对取向由欧拉角φ、θ和ψ限定，其中φ的范围为-5°≤φ≤+5°，θ的范围为70°≤θ≤90°，ψ的范围为85°≤ψ≤95°，或其中φ的范围为-5°≤φ≤+5°，θ的范围为20°≤θ≤40°，ψ的范围为5°≤ψ≤25°，或其中φ＝0°，θ＝168°和ψ＝90°。