发明名称 METHOD OF DEPOSITING THIN FILMS BY VACUUM SUBLIMATION
摘要
申请公布号 PL286022(A1) 申请公布日期 1992.01.13
申请号 PL19900286022 申请日期 1990.07.10
申请人 POLITECHNIKA WROCLAWSKA 发明人 POSADOWSKI WITOLD
分类号 C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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