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发明名称 PLASMA DEVICE, AND MANUFACTURE AND USAGE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH047818(A) 申请公布日期 1992.01.13
申请号 JP19900109209 申请日期 1990.04.25
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 SAKAMOTO JUNICHI
分类号 H05H1/46;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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