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经营范围
发明名称
VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH046840(A)
申请公布日期
1992.01.10
申请号
JP19900109470
申请日期
1990.04.24
申请人
FUJITSU LTD
发明人
UEDA TOSHIYUKI;TANAKA MASAHIRO;WATANABE YOSHIO
分类号
H01L21/205;H01L21/365
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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