| 发明名称 |
METHOD FOR TREATING SPECIMEN AND METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING SPECIMEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH046465(A) |
申请公布日期 |
1992.01.10 |
| 申请号 |
JP19900109328 |
申请日期 |
1990.04.25 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
ITO YUJI;AZUMAYA YOSHIYUKI;SAITO ATSUSHI;YAMAZAKI TATSUYA |
| 分类号 |
G01N33/543;G01N15/14;G01N21/17 |
主分类号 |
G01N33/543 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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