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发明名称 MANUFACTURE OF CRYSTALLINE SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH046824(A) 申请公布日期 1992.01.10
申请号 JP19900108024 申请日期 1990.04.24
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 YAZAKI MASATOSHI
分类号 G02F1/1343;G02F1/136;G02F1/1368;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/263;H01L27/12 主分类号 G02F1/1343
代理机构 代理人
主权项
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