MANUFACTURE OF CRYSTALLINE SEMICONDUCTOR THIN FILM,申请号JP19900108022-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURE OF CRYSTALLINE SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号	JPH046822(A)	申请公布日期	1992.01.10
申请号	JP19900108022	申请日期	1990.04.24
申请人	SEIKO EPSON CORP	发明人	YAZAKI MASATOSHI
分类号	G02F1/1343;G02F1/136;G02F1/1368;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/324;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/786	主分类号	G02F1/1343
代理机构		代理人
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