VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERSCHICHT.,申请号DE19843485300-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERSCHICHT.
摘要
申请公布号	DE3485300(D1)	申请公布日期	1992.01.09
申请号	DE19843485300	申请日期	1984.09.19
申请人	KANEGAFUCHI KAGAKU KOGYO K.K., OSAKA, JP	发明人	TAWADA, YOSHIHISA;OKAMOTO, TAKEO, KOBE-SHI HYOGO-KEN, JP;TSUGE, KAZUNORI C/O KANEGAFUCHI KAGAKU KOG, KITA-KU OSAKA-SHI, JP
分类号	H01L31/04;C23C16/517;H01J37/32;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/20	主分类号	H01L31/04
代理机构		代理人
主权项
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