发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH045851(A) 申请公布日期 1992.01.09
申请号 JP19900106964 申请日期 1990.04.23
申请人 NEC CORP 发明人 SOEJIMA KATSUMOTO
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8222;H01L21/8248;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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