AUTOMATIC HIGH SPEED OPTICAL INSPECTION APPARATUS AND METHOD,申请号EP19900120956-传众专利搜索

发明名称	AUTOMATIC HIGH SPEED OPTICAL INSPECTION APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号	EP0426182(A3)	申请公布日期	1992.01.08
申请号	EP19900120956	申请日期	1990.10.31
申请人	KLA INSTRUMENTS CORP.	发明人	CHADWICK, CURT H.;SHOLES, ROBERT H.;GREENE, JOHN D.;TUCKER, FRANCIS D., III;FEIN, MICHAEL E.;JANN, P. C.;HARVEY, DAVID J.;BELL, WILLIAM
分类号	G01B11/24;G01B11/30;G01N21/64;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;G01R31/308;G06T1/00;G06T1/20;(IPC1-7):G01N21/00;G01R31/00;G06F15/62	主分类号	G01B11/24
代理机构		代理人
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