| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH043468(A) |
申请公布日期 |
1992.01.08 |
| 申请号 |
JP19900104580 |
申请日期 |
1990.04.20 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
SAWADA SHIZUO;IWASAKI KIYOKO |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/22;H01L21/266;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/06;H01L27/088;H01L29/10;(IPC1-7):H01L29/784 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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