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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH043949(A) 申请公布日期 1992.01.08
申请号 JP19900106086 申请日期 1990.04.20
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD 发明人 NIWA YOSHITAKA
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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