发明名称 MANUFACTURE OF POLYCRYSTALLINE SILICON THIN-FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH043941(A) 申请公布日期 1992.01.08
申请号 JP19900104884 申请日期 1990.04.20
申请人 RICOH CO LTD 发明人 WATANABE HIROBUMI
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/784 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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