发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PLASMA PROCESSING
摘要
申请公布号 JPH043417(A) 申请公布日期 1992.01.08
申请号 JP19900105089 申请日期 1990.04.19
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 DOBASHI SUKEAKI
分类号 H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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