| 发明名称 |
用于压印的固化性组成物、图案化方法及图案 |
| 摘要 |
明提供一种用于压印的固化性组成物，所述用于压印的固化性组成物即使在重复图案转移之后亦能够保持良好图案化能力且产生较少缺陷。所述用于压印的固化性组成物包括：可聚合化合物(A)；光聚合起始剂(B)；以及非可聚合化合物(C)，所述非可聚合化合物(C)具有含至少一个末端羟基或至少一个醚化末端羟基之聚烷二醇结构，且实质上不含氟原子以及矽原子。
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| 申请公布号 |
TWI534536 |
申请公布日期 |
2016.05.21 |
| 申请号 |
TW101125123 |
申请日期 |
2012.07.12 |
| 申请人 |
富士软片股份有限公司 |
发明人 |
儿玉邦彦;榎本雄一郎;臼杵一幸;大松祯;北川浩隆 |
| 分类号 |
G03F7/028(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/028(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
詹铭文;叶璟宗 |
| 主权项 |
一种用于压印的固化性组成物，包括：可聚合化合物(A)，所述可聚合化合物(A)包括具氟原子及/或矽原子的化合物；光聚合起始剂(B)；以及非可聚合化合物(C)，所述非可聚合化合物(C)具有含至少一个末端羟基或至少一个醚化末端羟基之聚烷二醇结构，且氟原子以及矽原子之总含量为1%或小于1%。
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| 地址 |
日本 |
