接头构件、接头、基板处理装置、以及限制构件

摘要

接头构件，具备有：套筒构件，系具有使得具第1外径之第1外径部与具较该第1外径来得小之第2外径之第2外径部沿着中心轴之方向上排列之筒形状；螺帽构件，系具有具备形成有第1螺纹之内周面以及形成有开口之底部的筒形状，该筒形状之内径较该第1外径来得大，该开口之内径较该第1外径来得小且较该第2外径来得大；以及限制构件，系固定于插入该开口之该第2外径部的外周处，可接触该螺帽构件之该底部外面，而连同可接触于该螺帽构件之该底部内面的该第1外径部来限制该套筒构件和该螺帽构件在该中心轴方向做相对性移动。

主权项

一种接头构件，具备有：套筒构件，系具有使得具第1外径之第1外径部与具较该第1外径来得小之第2外径之第2外径部沿着中心轴之方向上排列之筒形状；螺帽构件，系具有具备形成有第1螺纹之内周面以及形成有开口之底部的筒形状，该筒形状之内径较该第1外径来得大，该开口之内径较该第1外径来得小且较该第2外径来得大；以及限制构件，系固定于插入该开口之该第2外径部的外周处，可接触该螺帽构件之该底部外面，而连同可接触于该螺帽构件之该底部内面的该第1外径部来限制该套筒构件和该螺帽构件在该中心轴方向做相对性移动；于该限制构件与该螺帽构件之该底部外面之间形成有间隙。